Fabmatics, Spezialist für automatisierte Materialflusslösungen in der Halbleiterfertigung und Teil der SCIO Automation Gruppe, erweitert sein Portfolio um die Box Opening Transfer Unit.
Das Automatisierungssystem adressiert eine zentrale Herausforderung vieler bestehender 200 mm Fabs: die Schnittstelle zwischen geschütztem Box Transport und dem kontrollierten Handling offener Waferkassetten im Umfeld der Toolbeladung.
In boxbasierten 200 mm Fabs müssen HA200 Boxen sicher und geschlossen durch die Fertigung transportiert werden, während für die Prozessschritte an den Tools offene Kassetten erforderlich sind. Genau für diesen Übergabepunkt wurde die Box Opening Transfer Unit entwickelt.
Sie öffnet HA200 Boxen direkt auf dem Transportsystem und übergibt die Waferkassette in einer definierten, reproduzierbaren Übergabesituation an nachgelagerte Handling oder Toolbeladungssysteme. Die Box selbst verbleibt vollständig im Conveyor. Dadurch entsteht eine klar abgegrenzte funktionale Trennung zwischen Transport und Carrier Handling – ohne manuelle Eingriffe.
Ein wesentlicher Vorteil dieses Konzepts liegt in der Integrationsfähigkeit in bestehende Fab Layouts. Statt etablierte Transportstrukturen zu ersetzen, kann die Box Opening Transfer Unit gezielt ergänzt werden. Lokale Speicherflächen im Toolumfeld entfallen, der Materialfluss bleibt durchgängig und reproduzierbar.
Der Fokus liegt dabei nicht auf dem Öffnungsprozess selbst, sondern auf einer stabilen Übergabesituation. Diese reduziert das Risiko von Partikelkontaminationen und mechanischen Einflüssen und leistet einen wichtigen Beitrag zur Prozesssicherheit in klassischen 200 mm Fabs.
Mit der Box Opening Transfer Unit erweitert Fabmatics innerhalb der SCIO Automation Gruppe sein Portfolio um einen zentralen Baustein für die schrittweise Automatisierung bestehender 200 mm Fabs.