Im Rahmen des europäischen Forschungsprojekts AIMS 5.0 haben das SCIO-Mitglied Fabmatics und Infineon Technologies Dresden den neuen autonomen mobilen Roboter (AMR) „HERO Scout“ unter realen Produktionsbedingungen in einer 200-mm-Halbleiterfabrik erfolgreich evaluiert. Der AMR führte den vollautomatisierten Transport und das Handling von Reticle-SMIF-Pods und 200-mm-Waferkassetten in der Lithografie durch, einschließlich der Navigation durch enge Reinraumgänge, High-Speed-Fahrten und komplexer Handling-Szenarien. Die Ergebnisse bestätigen: Der HERO Scout ist technisch reif für den Einsatz in hochautomatisierten, digitalisierten Halbleiterfabs und leistet einen wichtigen Beitrag zu den Zielen von AIMS 5.0.
Für die Validierung wurde der HERO-Scout in der 200-mm-Lithografie-Fertigung von Infineon Dresden unter realen Reinraumbedingungen eingesetzt. Die Tests umfassten den Transport und das Handling von Reticle Pods und Waferkassetten, die Navigation durch komplexe Reinraumumgebungen, die Interaktion mit Personenverkehr und Hindernissen sowie die Bewertung der Fahrstabilität bei hohen Geschwindigkeiten.
Mit dem erfolgreichen Praxistest liefert Fabmatics einen industrienahen Demonstrator innerhalb von AIMS 5.0. Der HERO Scout ermöglicht automatisierten Reticle-Transport, bietet eine skalierbare AMR-Plattform mit KI-fähiger Steuerungsarchitektur und lässt sich ohne grundlegende Infrastrukturänderungen in bestehende Fab-Layouts integrieren.
Perspektivisch eröffnet die Lösung Halbleiterfabriken die Möglichkeit, Reticle- und Waferlogistik schrittweise von manuellen auf autonome Prozesse umzustellen. In Kombination mit digitalen Zwillingen und KI-fähiger Flottensteuerung entsteht ein weiterer Baustein für die intelligente, vernetzte und nachhaltige Fabrik der Zukunft.
Als Teil der SCIO Automation Group trägt Fabmatics mit dieser Entwicklung zur Weiterentwicklung intelligenter Automatisierungslösungen für anspruchsvolle Produktionsumgebungen bei.