Der autonome Gabelstapler AFi-H von 4am Robotics demonstrierte seine Fähigkeiten bei einem Test in...
← SCIO Updates
Zukunft der Lithografie-Logistik: HERO Scout bewährt sich im Realtest
Im Rahmen des europäischen Forschungsprojekts AIMS 5.0 haben das SCIO-Mitglied Fabmatics und Infineon Technologies Dresden den neuen autonomen mobilen Roboter (AMR) „HERO Scout“ unter realen Produktionsbedingungen in einer 200-mm-Halbleiterfabrik erfolgreich evaluiert. Der AMR führte den vollautomatisierten Transport und das Handling von Reticle-SMIF-Pods und 200-mm-Waferkassetten in der Lithografie durch, einschließlich der Navigation durch enge Reinraumgänge, High-Speed-Fahrten und komplexer Handling-Szenarien. Die Ergebnisse bestätigen: Der HERO Scout ist technisch reif für den Einsatz in hochautomatisierten, digitalisierten Halbleiterfabs und leistet einen wichtigen Beitrag zu den Zielen von AIMS 5.0.
AIMS 5.0: KI-gestützte Automatisierung für die Industrie-5.0-Fabrik
Das EU-Forschungsprojekt AIMS 5.0 (Artificial Intelligence in Manufacturing leading to Sustainability and Industry 5.0) zählt zu den zentralen europäischen Initiativen, um die digitale Souveränität in der Halbleiterfertigung zu stärken. 53 Partner aus 12 Ländern entwickeln zwischen 2023 und 2026 neue KI-fähige Komponenten, Softwareplattformen und Automatisierungslösungen für eine produktive, resiliente und nachhaltige Industrieproduktion.
Koordiniert wird das Projekt von Infineon Technologies. In mehreren Use Cases werden Technologien direkt in realen Fabrikumgebungen qualifiziert, von KI-gestützter Prozessoptimierung bis zur autonomen Logistik im Reinraum.
Fabmatics beteiligt sich unter anderem mit neuen Lagerlösungen, digitalen Zwillingen und der Entwicklung des mobilen Robotersystems HERO Scout inklusive KI-fähiger Steuerungssoftware und Auto-Teaching-Funktionen.
Reticle-Logistik als Schlüsselprozess in der Lithografie
Die Lithografie zählt zu den kostenintensivsten und taktgebenden Bereichen der Halbleiterfertigung. Verzögerungen oder Fehlversorgungen an den Belichtungsanlagen wirken sich direkt auf Durchsatz, OEE und Ausbeute der Fertigung aus. Daher muss die Maskenlogistik ebenso zuverlässig funktionieren wie die Waferlogistik. Manuelle Prozesse bergen dabei Risiken hinsichtlich Fehlern, Wartezeiten und Ergonomie. Genau hier setzt der AIMS-5.0-Use-Case mit autonomem, hochpräzisem Reticle-Transport an
Praxistest in der 200-mm-Fabrik von Infineon
Für die Validierung wurde der HERO-Scout in der 200-mm-Lithografie-Fertigung von Infineon Dresden unter realen Reinraumbedingungen eingesetzt. Die Tests umfassten den Transport und das Handling von Reticle Pods und Waferkassetten, die Navigation durch komplexe Reinraumumgebungen, die Interaktion mit Personenverkehr und Hindernissen sowie die Bewertung der Fahrstabilität bei hohen Geschwindigkeiten.
Die Versuche wurden mit Dummy-Material durchgeführt, um reale Bedingungen abzubilden, ohne den Produktionsbetrieb zu beeinflussen. Über alle Szenarien hinweg zeigte der HERO Scout eine hohe Zuverlässigkeit bei Navigation und Handling. Auch die sichere Interaktion mit dem Umfeld sowie die Fahrstabilität erfüllten die Anforderungen. Gleichzeitig konnten Optimierungspotenziale identifiziert werden, die in die weitere Entwicklung einfließen.
Baustein für zukünftige Automatisierung in Halbleiterfabriken
Mit dem erfolgreichen Praxistest liefert Fabmatics einen industrienahen Demonstrator innerhalb von AIMS 5.0. Der HERO Scout ermöglicht automatisierten Reticle-Transport, bietet eine skalierbare AMR-Plattform mit KI-fähiger Steuerungsarchitektur und lässt sich ohne grundlegende Infrastrukturänderungen in bestehende Fab-Layouts integrieren.
Perspektivisch eröffnet die Lösung Halbleiterfabriken die Möglichkeit, Reticle- und Waferlogistik schrittweise von manuellen auf autonome Prozesse umzustellen. In Kombination mit digitalen Zwillingen und KI-fähiger Flottensteuerung entsteht ein weiterer Baustein für die intelligente, vernetzte und nachhaltige Fabrik der Zukunft.
Als Teil der SCIO Automation Group trägt Fabmatics mit dieser Entwicklung zur Weiterentwicklung intelligenter Automatisierungslösungen für anspruchsvolle Produktionsumgebungen bei.
HERO Scout: Autonome Mobile Robotik für die Halbleiterfertigung
Der erfolgreich validierte HERO Scout zeigt, wie autonome mobile Robotik und KI-gestützte Steuerung die Materialflüsse in Halbleiterfabriken optimieren können. Entdecken Sie die Technologie hinter dem innovativen AMR von Fabmatics.
