Freifahrendes Robotersystem zum Transport und Handling von Waferkassetten in Reinraumumgebungen.
Fabmatics
Mobiler Roboter für den flexiblen Transport und die sichere Handhabung von Reticle-Pods in hochreinen Produktionsumgebungen wie der Halbleiterfertigung.
Fabmatics
Schienengebundenes Robotersystem (RGV) zur effizienten Be-und Entladung von Prozessanlagen sowie zum zügigen Transport von Carriern zwischen Prozessanlage und Transportsystem im Reinraum.
Fabmatics
Platzsparende Komplettlösung für das automatisierte Management von Testwafern im Reinraum. Zentralisiertes Kitting, De‑Kitting und Lagerung in einem kompakten Tool, eliminiert verstreute Einzeltools, reduziert manuelle Eingriffe und macht Platz für wertvolle Reinraumfläche.
Fabmatics
Bodengestützte Lösung zur Zwischenlagerung von Produktträgern, wie z.B. offenen 200mm Wafer-Carriern, im Reinraum sowie Grauraum. Mit eigener ISO 3-Reinraumatmosphäre, um die Wafer vor dem nächsten Bearbeitungsschritt absolut sauber zwischenzulagern.
Fabmatics
Innovative Zero Footprint Storage Lösung zur Lagerung von Produktträgern, wie z. B. offene Wafer-Kassetten und H200 Boxen, unter der Reinraumdecke.
Fabmatics
Nachrüstbares Purge System schützt Wafer zwischen den Produktionsschritten zuverlässig vor Kontamination, Oxidation und chemischen Reaktionen durch Feuchtigkeit.
Fabmatics
Nachrüstbare, maßgeschneiderte und skalierbare Identifikationslösungen, die Prozesssteuerung, Rückverfolgbarkeit und zukunftssichere Automatisierung ermöglichen.
Fabmatics
Leistungsstarkes Tool zur Analyse und Bewertung bestehender Systembedingungen oder zur Ermöglichung fundierter Entscheidungen in Reinraum-Automatisierungsprojekten durch Visualisierung zukünftiger Abläufe.
Fabmatics
Maßgeschneiderte Lagerlösung für Reinräume bis zu ISO-Klasse 3. Kundenspezifisch entwickelt, um kleine, kompakte Lager in die Produktion zu integrieren und als Produktionspuffer zu fungieren.
SCI
Der dezentrale Linear Stocker kann flexibel für den Transport und die Lagerung einzelner, kundenspezifischer Produkte zusammengestellt werden. Einsetzbar für die Sequenzierung oder Kommissionierung von Produktionslosen.
SCI
Die innovative Lösung, die mit beidseitigen und doppeltiefen Behälterstellplätzen und einer optionalen Stickstoff-Spülung völlig neue Dimensionen für die partikelreduzierte Lagerhaltung im Reinraum bis ISO-Klasse 4 bietet.
SCI
Vollständig automatisiertes System für Transportaufgaben mit hoher Durchlaufzahl im Reinraum.
Rund um die Uhr können Behälter ohne menschliches Zutun mit hoher Wiederholgenauigkeit und in Kombination mit den Reinraum-Transportsystem bereitgestellt werden.
SCI
Das Reinraum-Transportsystem mit maximaler Flexibilität und Anpassungsfähigkeit. Herzstück ist das Cleanroom Conveyor System mit reinraumgeprüften Komponenten und innovativer Magnetantriebstechnik für die berührungslose, reibungsfreie Kraftübertragung auf das Rollenband.
SCI
Das innovative Deckenförder-System mit höchsten Designanforderungen zur Vermeidung von Partikeln. So meistert es gängige Herausforderungen in modernen Reinraum-Fertigungen. Die hohe Flexibilität ermöglicht die einfache Nachrüstung und Erweiterung bestehender Automatisierungssysteme.
SCI
